ST50discPRO光盘注塑机工艺程序及应用十

ST50discPRO光盘注塑机工艺程序及应用十

四、操作与问题分析

实际操作上我们都希望能有较快的产速，亦即短“生产周期”（Cycle Time），而降低生产周期的因素有：（a）双折射；（b）翘曲；(c)沟槽的几何形化

1．线内光学测试机（In-Line Optical Scanner）

(1)测试光源(Light Source）

线内100％检测机是由灯泡（Lamp）、固态激光（Laser Diode）或发光二极管（LED）等光源加上一些光学滤波片（Optical Filter）与光侦测数组（Photo Array）来做穿透与反射的光强度（Light Intensity）测量，我们可以得到盘基上如穿透率、反射率、翘曲与缺陷等的状况。

（2）盘片着陆后的稳定性(Vibration Stability)

一般线内光学测试机需要在1～2秒内将一片盘机做完检测，故盘基落在检测机的“承轴”（Chuck）上要能稳定后再开始测量，这就是延迟时间的功用。

以往于1998年CD-R刚开始大量生产时候，可录式光盘复制线上会配置有三台线内光学检测机，分别对盘基、染料片（Dye Disc）与成品（Finish Disc）做质检，但现在的复制线多半已取消第一台的配置，即不线上内测盘基，而盘基的测试多半由线外光学检测机来担任。

2．线外光学测试机(off-Line optical Tester)

现外光学检测机与线内的相似，差别在于可以做更复杂的光学计测，加上一些空间的计量设置与偏光片（Polarizer）的组合，我们可以经由计量不同角度上散射光的强度来估算沟槽的宽度与深度，但这估计值（相对值）需要与原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM）所测出的绝对值做比对才能确认其是否达到相当的精度。

(1)光学读取头

值得一提的是一般市售光刻的“光学读取头”(Pick-Up Head, PUH）与光学测试机的光源照射方式是不一样的，线内线外的光学测试机是采用一毫米直径平行光束与PUH中要聚焦（NA）是不同的。

(2)透明度(穿透率/反射率）

加温过高会将塑料烧焦而产生黄化的问题，塑料干燥不全盘基也会有白斑的产生，一般正常操作下，保持适当的“螺杆旋进速度”（Screw Circumferential Velocity）与“射速”（Injection Velocity），塑料会保持良好的透明度。

（3）翘曲度(Tilt/Dishing）

翘曲的成因主要是两半模具的温度差异，其次是盘基在模具中的冷却速率，以及冷却时的模穴压力与开模前的吹风（Air Blow），当然在开模之后所取出的盘基仍然很热，没有适当的冷却也会产生翘曲，而后续的染料盘基烘干、溅射、粘合、紫外光硬化保护胶层（UV Curing）与印刷等也会影响到翘曲的大小。一般所称翘曲多半是是指轴向“翘曲”（Radial Tilt），而也有“切线翘曲”（Tangential Tilt）。

（待续）

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